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진공 게이트 밸브는 LCD, 태양광, OLED용 패널의
주요 공정인 식각 및 증착이 이뤄지는 진공 챔버
(Chamber)를 밀폐시키는 문입니다.
공정 안정성을 위해 밀폐성과 내화학성 및
내플라즈마 성질이 높고, 미세 공정에 부응하기
위해 미세먼지 생성도 억제되어야 하기 때문에
높은 기술 수준이 요구됩니다.

당사는 계속 대형화되고 있는 진공장비 시장에
지속적으로 대응할 수 있는 초대형 사이즈 게이트
밸브를 개발하여, 차별화된 경쟁력을 확보하였습니다.

공지사항
Part Semiconductor Display
  • Vacuum
    valve
  • Gate valve
    (LL,TM,PM)
  • Pendulum
    valve
  • Gate valve
    (Horizontal LL,TM,PM)
  • Gate valve
    (Vertical LL,TM,PM)
  • Pendulum
    valve
  • Vacuum
    valve
    Overhaul
  • Vacuum valve Overhaul
  • Vacuum valve Overhaul